不同测试条件下TiN薄膜的摩擦学特性研究

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采用电弧离子镀技术在45#钢衬底表面沉积了TiN薄膜。用显微硬度计测试了薄膜的硬度,用球—盘式摩擦磨损试验机评价了在不同测试条件下(干摩擦,水润滑,油润滑)TiN薄膜的摩擦学性能,用表面轮廓仪测试了磨痕处的磨痕轮廓,用配有能谱仪(EDS)的扫描电镜(SEM)观察和测试了磨痕形貌和磨痕处主要化学元素组成。结果表明,相对于干摩擦,水润滑和油润滑条件下,TiN薄膜的摩擦系数和磨痕深度都有明显降低的趋势。干摩擦条件下,薄膜表现为磨粒磨损和氧化磨损;水润滑条件下,薄膜表现为疲劳磨损,水对薄膜起到边界润滑作用;油润滑条件下,薄膜几乎无磨损,油起到流体润滑作用。 The TiN film was deposited on the surface of 45 # steel substrate by arc ion plating. The hardness of the films was measured with a microhardness tester. The tribological properties of TiN films under different testing conditions (dry friction, water lubrication and oil lubrication) were evaluated by a ball-disc friction and wear tester. The surface profiler The wear profile of the wear scar was observed and the main chemical composition of the wear scar was observed and tested by scanning electron microscope (SEM) with EDS. The results show that the friction coefficient and depth of wear scar tend to decrease obviously compared with dry friction, water lubrication and oil lubrication. Under dry friction conditions, the films showed abrasive wear and oxidative wear. Under water lubrication, the films showed fatigue and wear, and the water played a boundary lubrication role on the films. In the case of oil lubrication, the films had almost no wear and oil lubricated effect.
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