图象识别自动对准

来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tk6014

【摘要】

：

<正> 概述在大规模集成电路生产中,自动对准技术是极其关键的一项技术,它主要解决IC生产中的图形刻套问题,以提高产品成品率及生产效率。该技术是西方发达国家对我国微电子

【作者】

：

魏向荣

【机构】

：

机电部第四十五研究所

【出处】

：

电子工业专用设备

【发表日期】

：

1991年3期

【关键词】

：

ULSI 图形套刻对准工艺

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<正> 概述在大规模集成电路生产中,自动对准技术是极其关键的一项技术,它主要解决IC生产中的图形刻套问题,以提高产品成品率及生产效率。该技术是西方发达国家对我国微电子工业发展实行技术封锁与控制的重点,也是自七十年代初至今这二十余年来严重困扰和阻碍我国集成电路制造与发展的一项久攻未破的老大难问题。我所作为我国专门从

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