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低温低真空CVD生长锗硅异质结外延材料

来源 :半导体杂志 | 被引量 : 0次 | 上传用户：youlan26

【摘 要】

：

利用自行研制的超净低温低真空化学气相外延系统，应用锗烷和硅烷气本，在２英雨到３英雨的衬底硅片上生长了锗硅异质结外延层。在６６５℃，６１０℃和５７５℃不同温度分别生长了Ｓｉ０．５Ｇｅ０．２，Ｇｅ０．５和Ｓｉ０．６５Ｇｅ０．３５的异质外延层，获得了原

【作 者】

：

谢自力 陈桂章 

【机 构】

：

南京电子器件研究所

【出 处】

：

半导体杂志

【发表日期】

：

1999年4期

【关键词】

：

化学气相淀积 锗 硅 异质结构 生长 外延材料 Chemical vapor deposition  GeraniumSilicon SiH4 GeH4 Het 

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利用自行研制的超净低温低真空化学气相外延系统，应用锗烷和硅烷气本，在２英雨到３英雨的衬底硅片上生长了锗硅异质结外延层。在６６５℃，６１０℃和５７５℃不同温度分别生长了Ｓｉ０．５Ｇｅ０．２，Ｇｅ０．５和Ｓｉ０．６５Ｇｅ０．３５的异质外延层，获得了原子级表面和界面的异质外延材料。结果表明：外延生长速率和Ｇｅ组分由硅烷和锗烷的分压及生长时的温度控制。并利用Ｘ射线双昌衍射，扩展电阻和电化学Ｃ－Ｖ法研究了Ｇ

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