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对探针的制作方法、关键工艺环节等进行了分析与研究，给出了基于UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针的工艺过程，分析了制备的技术关键，试验优选了关键制备环节的工艺参数，在此基础上，制作出微型柔性镍接触探针。试验结果表明：采用工艺条件优选的UV～LIGA技术，如前烘60℃，120min，90℃，120min；较大曝光剂量；后烘65℃，10min，95℃，45min；匀胶后静置、随炉冷却和超声辅助显影等辅助措施，所制备出的柔性接触探针（主体总长4mm，宽80μm，高100μm；弹簧处高宽比为5（100μm：2