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简介了微电子机械系统MEMS的基本概念、构成及显著特点,并对微电子机械系统的典型器件如传感器,执行器等作了介绍与分析,提出了微系统之间要研究的问题; 探讨了微电子机械系统的发展应用前景.
论微电子机械系统MEMS
【摘 要】
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简介了微电子机械系统MEMS的基本概念、构成及显著特点,并对微电子机械系统的典型器件如传感器,执行器等作了介绍与分析,提出了微系统之间要研究的问题; 探讨了微电子机械系
【机 构】
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西安航空技术高等专科学校科技处
【出 处】
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西安航空技术高等专科学校学报
【发表日期】
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2004年3期
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