2.45GHz单电荷态电子回旋共振离子源

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描述了一台2.45GHz单电荷态电子回旋共振(ECR)离子源的原理、结构与应用。介绍了其微波系统与磁场结构。在微波输入功率约600W,引出高压22kV,引出孔径为6mm时,该离子源的总束流I(H1++H2++H3+)可达90mA。
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