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高可靠器件广泛应用于航空、航天等军用领域,由于使用环境恶劣,性能和可靠性要求更高。但由于器件规定的项目（参数）往往不全,测试条件不能覆盖全部使用状态,经常引起整机质量问题。本文从测试项目、测试条件和测试方法3个方面,以实例分析了高可靠半导体器件电参数测试存在的问题,研究了提高测试覆盖性的方法。采用CMOS静态功耗电流（IDDQ）测试、主载波测试等基于故障测试方法可以提高覆盖率。