【摘 要】
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ＳＴＭ（扫描隧道显微镜）作为一种新型的纳米加工工具，在微电子制造，量子、分子器件的制作以及在原子分子尺度内的操作与构建等方面有极大的应用潜力。本文对ＳＴＭ纳米加工方法进行了初步分类
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ＳＴＭ（扫描隧道显微镜）作为一种新型的纳米加工工具，在微电子制造，量子、分子器件的制作以及在原子分子尺度内的操作与构建等方面有极大的应用潜力。本文对ＳＴＭ纳米加工方法进行了初步分类，简略介绍了其一般工作原理及发展状况，讨论了其未来的应用前景。
STM (scanning tunneling microscope), as a new type of nano-machining tools, has great potential applications in microelectronics manufacturing, quantum and molecular device fabrication, as well as in the operation and construction of atomic scale. This article has carried on the preliminary classification to STM nanometer processing method, briefly introduced its general working principle and the development condition, discussed its future application prospect.
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