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传统同位素微电池的能量转换结构采用单层阵列形式，造成电池输出功率较小，不能满足微型传感器件的需求．设计了一种基于大阵列多层压制的能量转换结构，以引入高深宽比工艺并增大比表面积，从而提高了放射源利用率，使得微电池可以根据微型传感器件的需求作出设计，并能与其进行工艺集成．对这种结构的微电池性能进行仿真得到最佳p-n结结深，结果证明了该结构具有较高的输出功率。