【摘 要】
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本文讨论一种用于光学系统和光学反射镜面检验中的完整而定量的方法.该方法以干涉术为基础,将所得干涉图样表示成光学系统光瞳坐标的函数和光学零件表面坐标的函数.此函数为
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所;
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本文讨论一种用于光学系统和光学反射镜面检验中的完整而定量的方法.该方法以干涉术为基础,将所得干涉图样表示成光学系统光瞳坐标的函数和光学零件表面坐标的函数.此函数为与象差密切相关的Zernike圆多项式的线性组合.并利用Gram-Schmidt正交法求多项式的系数使其与干涉图上一些离散点相啮合.由此函数出发本文讨论了检验系统本身误差及调整误差去除的方法及计算被检波面的最小均方波差及波差分布,进而求得系统的PSF和OTF值.
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