【摘 要】
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采用非平衡分子动力学方法,基于优化的集成势函数COMPASS力场,预测了室温下（300K）硅纳米薄膜的热导率.模拟结果表明：厚度约4～10nm的硅薄膜的热导率在3.06～7.28 W/（m·K）范围,并
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采用非平衡分子动力学方法,基于优化的集成势函数COMPASS力场,预测了室温下（300K）硅纳米薄膜的热导率.模拟结果表明：厚度约4～10nm的硅薄膜的热导率在3.06～7.28 W/（m·K）范围,并且随着膜厚的增加而增大,表现出明显的尺度效应.在所计算的薄膜厚度范围内,硅纳米薄膜的热导率与薄膜厚度呈现近似线性变化的关系.应用气动理论对产生的尺度效应进行了初步的理论分析,当薄膜厚度在几纳米到十几纳米时,有效声子平均自由程与膜厚有关,不再等于体材料的平均自由程.同时也将本文的预测结果与其他研究者
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