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电子气是半导体工业必不可少的基础原料,其纯度决定了半导体器件的质量和性能。本文概述了国际半导体设备材料产业协会（SEMI）现行电子气标准中气体种类、纯度要求及其应用状况,主要综述了H_2、O_2、N_2、CO、CO_2、烃类、水分等常见杂质和金属离子、氟离子等特殊杂质的检测方法及其原理。
SEMI标准关于电子气分析方法概述
【摘 要】
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电子气是半导体工业必不可少的基础原料,其纯度决定了半导体器件的质量和性能。本文概述了国际半导体设备材料产业协会（SEMI）现行电子气标准中气体种类、纯度要求及其应用状况,
【机 构】
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福州市产品质量检验所,国家化学工业气体产品质量监督检验中心
【出 处】
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质量技术监督研究
【发表日期】
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2011年3期
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