【摘 要】
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处在H2气氛围下的氧化铝陶瓷受电子辐照时表面电导率会发生变化,这在某些应用中是非常重要的.本文采用X射线光电子谱仪对阳极氧化法制备的氧化铝薄膜(厚度60 nm)作了模拟研究
【机 构】
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复旦大学材料科学系,中国工程物理研究院,机械工业部上海材料研究所
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处在H2气氛围下的氧化铝陶瓷受电子辐照时表面电导率会发生变化,这在某些应用中是非常重要的.本文采用X射线光电子谱仪对阳极氧化法制备的氧化铝薄膜(厚度60 nm)作了模拟研究.结果表明,原制备的样品存在有氧化铝和氢氧化铝2种化学状态,然而,经H2气氛围下荷能电子(5 keV)辐照后,部分氢氧化铝态转变为氧化铝态.同时,样品表面的C污染将降低约1个数量级.经上述处理后,氧化铝样品的绝缘性能不会退化.
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