射频辉光放电等离子体相关论文
介绍射频辉光放电等离子体改善苎麻织物毛细效应的时效性的实验.分别在充入氩气、氮气、氧气的真空室中对苎麻织物进行射频辉光放......
期刊
用自行设计的RF-PCVD(射频辉光放电等离子体化学气相沉积)设备沉积类金刚石膜,并对膜的力学、光学、化学性能进行了分析.表明用该......
