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【摘 要】
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利用DEM (Deepetching ,Electroforming ,Microreplication)技术获得的微复制金属模具进行了微复制工艺研究。对微复制工艺参数进行了优化 ,在PC、PMMA和POM塑料上获得了高深
【机 构】
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上海交通大学信息存储研究中心!薄膜与微细技术国家教委部门开放实验室,上海200030,上海交通大学信息存储研究中心!薄膜与微细技术国家教委部门开放实验室,上海200030,上海交通大学信息存储研究中心
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2000年01期
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