大排气量高可靠性磁悬浮涡轮分子泵的开发

来源 :中国集成电路 | 被引量 : 0次 | 上传用户：usaend

【摘要】

：

<正> 概要近年来,以IT行业领军的高新技术产业得到了迅猛的发展。与此同时,涡轮分子泵(TMP:TurboMolecular Pumps)也得到了广泛的应用。尤其以半导体制造、液晶制造等行业最

【作者】

：

山口均

【机构】

：

岛津制作所

【出处】

：

中国集成电路

【发表日期】

：

2002年09期

【关键词】

：

涡轮分子泵半导体制造工艺 TMP 电源装置排气量磁悬浮

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

<正> 概要近年来,以IT行业领军的高新技术产业得到了迅猛的发展。与此同时,涡轮分子泵(TMP:TurboMolecular Pumps)也得到了广泛的应用。尤其以半导体制造、液晶制造等行业最为显著。针对半导体制造工艺的微细加工化、晶圆尺寸的大口径(300mm)化以及液晶制造流程所要求的高可靠性,开发出了

其他文献

机动部队已经完结,银河映像不会解散专访《机动部队:同袍》导演罗永昌、主演任达华

<正>显然,无论罗永昌如何模仿杜琪峰的凌厉冷峻及黑色幽默,他也依然是那个在《每当变幻时》脉脉温情与淡淡感伤的罗永昌,对于"银河映像"的影迷来说,在《机动部队》这部续集里

期刊

银河映像《机动部队:同袍》杜琪峰任达华机动部队

电气工程自动化技术在电力系统运行中的作用

目前电力系统的建设和运行对我国的经济和人民生活起着越来越重要的作用,电气工程自动化技术的进步促进了电力系统的建设生产、运行和发展进步。应用自动化技术能够提高工作

期刊

电气工程自动化技术电力系统作用

电子货币的发展对金融业影响透析

网络金融已成为本世纪金融业发展的主流,作为货币形态演变最新形式的电子货币逐步取代传统通货已经成为一种不可逆转的世界性发展趋势。电于货币的发展,使传统的货币理论和货

期刊

网络金融电子货币货币乘数信用风险

城市医院对口支援乡镇卫生院的实践与思考

期刊

乡镇卫生院医务人员人才培养对口支援农村卫生工作城市医院实践与思考

电生理特征不典型房室结折返性心动过速的射频消融治疗

目的:分析电生理特征不典型的房室结折返性心动过速的射频消融结果。方法:将32例房室结折返性心动过速分为两组:甲组16例,心房刺激均呈连续性房室结功能曲线;乙组16例,心房刺

期刊

房室结功能曲线心动过速房室结折返房室结双径路射频消融

5-氟尿嘧啶和阿霉素膀胱黏膜下注射预防膀胱癌复发的临床观察

期刊

黏膜下注射阿霉素氟尿嘧啶临床观察

HX_D3C型交流传动电力机车通风冷却系统

从机车设计角度介绍了HXD3C机车通风冷却系统主要部件组成、结构布置、性能参数等特点,描述此系统的设计采用高度集成化、模块化的设计思路,提高了通风冷却性能,减轻了重量,

期刊

HXD3C交流传动电力机车通风冷却系统设计理念技术参数

支付宝钱包将对出租车刷卡支付方式产生怎样的冲击?

<正>近几年,北京、上海、广州、南京等数十个城市陆续试点推广使用银行卡、交通卡等支付工具刷卡打车,以方便市民出行,不过效果并不理想。而今年12月初,支付宝联合出租车公司

期刊

支付宝出租车支付方式非现金支付工具

我国逾半城市居民膳食结构不合理

<正>我国城市居民的健康自我评价不高,超过8成的受访者认为自己的健康状况一般,5成多的受访者未养成合理膳食习惯。2015年10月23日,《中国消费者报》创刊三十周年暨"互联网+"

期刊

居民膳食城市居民不合理受访者

浅谈儿科学临床教育中的人文学教育

期刊

临床教育人文精神人文教育患儿家属人文医学医患沟通

大排气量高可靠性磁悬浮涡轮分子泵的开发

其他学术论文