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用直流磁控溅射法分别在Si（111）基片及陶瓷基片上制备掺有TiO2的ZnO薄膜，并进行500℃、700℃退火处理，对掺杂前后ZnO薄膜进行XRD分析，测试各掺杂样品气敏特性．500℃退火后，各掺杂样品对有机气体有较高的灵敏度，随着掺杂时间延长，气敏特性提高．700℃退火后，2min掺杂的样品对乙醇有很高的灵敏度和很好的选择性，最佳工作温度为220℃左右．而其他掺杂量的样品对乙醇气体灵敏度低，随着掺杂时间延长，气敏特性降低．