论文部分内容阅读
有二个稳定的位置的电磁的 microactuator 被介绍。致动器与二免费结束,有二固定结束的一根扭力的横梁,平面卷和永久磁铁由一根伸臂横梁组成。伸臂横梁由于永久磁铁的使用有二个稳定的位置。与从平面卷产生的电磁的使活动,伸臂横梁将从一个稳定的位置切换到其它。机械、磁性的分析在致动器上被执行,并且有 2.2 公里脳 2 .5 公里的一种尺寸的设备与 UV-LIGA 技术被制作。有 70 妈的一个振幅的当前的脉搏为致动器鈥檚 在二个稳定的状态之间切换被需要的测试结果表演,和切换的时间是仅仅 6 ms。伸臂的