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来源 :电子工艺技术 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
针对功率混合集成电路中传统电子功率元件组装技术存在的主要问题,介绍了新的组装工艺设备,阐述了功率芯片真空烧结关键工艺参数及组装中的工装要求,列举了典型工装夹具实例,
【作 者】
:
张世伟
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第、二研究所
【出 处】
:
电子工艺技术
【发表日期】
:
2011年3期
【关键词】
:
微组装
功率元件
真空烧结
Micro-assembly Power component Vacuum sintering
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