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针对装配在多传感器坐标测量机上的光谱共焦传感器的精度评价问题,分析了曲面倾角对传感器测量精度的影响,对传感器的点测量模式和扫描测量模式的计量特性进行了研究,主要包括形状探测误差、尺寸探测误差、扫描探测误差、平面探测误差,并设计了合适的标准器进行实验分析。通过对光谱共焦传感器计量特性的研究,可为用户应用光谱共焦传感器进行大尺寸自由曲面测量的不确定度分析提供理论支持。