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介绍了利用过滤电弧离子镀沉积(TiAl)N薄膜初步的研究结果.在电弧靶材前沿的磁场作用下,有效减小了薄膜的宏观颗粒尺寸,并极大地降低了颗粒密度.同时,过滤电弧的作用,使偏压对膜成分的影响减弱,薄膜的硬度随膜中铝含量的增加而提高,(TiAl)N的抗氧化能力明显提高.
磁过滤对多弧离子镀(TiAl)N薄膜的影响
【摘 要】
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介绍了利用过滤电弧离子镀沉积(TiAl)N薄膜初步的研究结果.在电弧靶材前沿的磁场作用下,有效减小了薄膜的宏观颗粒尺寸,并极大地降低了颗粒密度.同时,过滤电弧的作用,使偏压
【机 构】
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中国科学院力学研究所
【出 处】
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中国有色金属学报
【发表日期】
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2001年z1期
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