【摘 要】
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现有微机电系统设计中所存在的一个重要问题是,设计人员需要通过工艺和版图设计来完成几何设计,因此难以用于复杂器件的设计.研究了表面微加工MEMS几何模型到工艺层模型的自
【机 构】
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浙江大学CAD&,CG国家重点实验室
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现有微机电系统设计中所存在的一个重要问题是,设计人员需要通过工艺和版图设计来完成几何设计,因此难以用于复杂器件的设计.研究了表面微加工MEMS几何模型到工艺层模型的自动转化,旨在实现MEMS器件几何设计和工艺规划的分离,给出了表面微机械加工的工艺特征的定义和分类方法,并简要介绍了工艺特征的自动识别过程,重点研究了基于工艺特征模型的工艺层模型自动生成方法.最后给出了试验结果.
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