表面微加工相关论文
微机电系统（MEMS）是基于集成电路和微机械加工技术发展起来的机械系统，本文阐述了国内外微机电系统发展的情况，论述了微机电系统制造技......
在微机电系统技术的基础上, 采用两层多晶硅表面微加工工艺, 研制了一种新型的微型可编程光栅, 利用静电驱动方式实现对光栅闪耀角......
采用两层多晶硅表面微加工工艺,研制开发了一种新型的微型可编程闪耀光栅.该光栅具有结构简单、工作谱段宽、光谱连续可调等特点.......
基于三层多晶硅表面加工工艺和自适应光学经验公式,设计并制作了一种静电驱动的16单元连续面形微机电系统(MEMS)变形镜(DM),并用Zy......
微型元器件是微机电系统中的重要组成部分,并且在多种行业内得到了非常广泛的应用,因此微器件的工艺设计方法就显得至关重要。目前......
对无线多传感器网络中红外热释电传感器模块进行微小型化设计，一方面利用实际的工艺进行整个传感器的电路板设计，另一方面提出利用微......
针对基于实体模型生成的微电机系统(MEMS)器件工艺层模型难以完全保证可制造性的问题,结合标准的表面微加工工艺,从可释放性、上下......
MEMS器件设计流程中,为优化MEMS器件,常常需要对MEMS掩模进行精化设计。为了在MEMS精化设计中同步更新MEMS掩模与几何模型,提出一......
现有微机电系统设计中所存在的一个重要问题是,设计人员需要通过工艺和版图设计来完成几何设计,因此难以用于复杂器件的设计.研究......
化学机械抛光技术几乎是迄今唯一可以提供全局平面化的表面精加工技术,可广泛用于集成电路芯片、计算机硬磁盘、微型机械系统(MEMS......
针对表面硅微加工,运用层模型间几何元素运算获得粗掩膜的基本数据.采用工艺约束修演得到精掩膜,解决了多层刻蚀与可加工性问题,并......
介绍了一种电磁驱动型MEMS可调光衰减器,该器件通过调节微挡光片在光路中的位置控制衰减量.以铜作为牺牲层,由电镀铁镍作为结构层......
在MEMS领域，微梁广泛应用于各种器件及材料参数的提取中，但是由表面微加工工艺制成的单层台阶型锚，往往不能使微梁满足理想固支的边界......
化学机械抛光(chemical mechanical polishing,简称CMP)技术几乎是迄今惟一的可以提供全局平面化的表面精加工技术,可广泛用于集成......
激光表面熔凝技术可有效降低纳米光波导侧壁粗糙度进而减小光传输的散射损耗。为明确波导侧壁在KrF准分子激光表面熔凝过程的温度......
概述了在固/液界面微/纳米加工中经常采用的三种电化学扫描探针显微镜(EC-SPM)技术,分别讨论了电化学扫描隧道显微镜(EC-STM)、电......
针对微铣削表面形貌复杂而难以准确评价的问题,提出了一种基于三维表征的表面粗糙度检测指标。首先,在主成分分析的基础上,基于灰......
微电子机械系统是一项建立在微纳米技术基础上的前沿技术,是对微纳米材料进行设计、加工、制造和控制的技术。硅微机械加工工艺是......
为消除静电吸引型微镜因存在静电吸合效应而导致的短路现象,基于电场的非均匀分布可以产生静电排斥力的原理,设计了一种静电排斥型......
为了克服常规静电微机械驱动器所存在的静电吸合现象，基于非均匀分布的静电场可以产生排斥力的原理，设计了一种新型的微机电系统变形......
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提出了一种在线提取多晶硅薄膜电阻温度系数的简单测量方法.给出了瞬态热电分析模型,综合考虑了各种散热因素如对流、辐射以及向衬......
红外高光谱成像由于其高光谱分辨率的特点正受到国内外的广泛关注,高光谱成像研究是成像光谱技术领域中的一个前沿的课题。传统的......
空间光调制器是自适应光学系统中用来实时校正波前畸变的关键器件,其发展水平能够反映整个自适应光学系统的水平。基于微电子机械......
微系统技术基于微机械加工技术以及集成电路工艺方法,具有微型化、集成化、智能化、成本低、性能高、可大批量生产等优点。概述了......
微电子机械系统(MEMS,Micro Electro-Mechanical System)是一门研究和设计制造微米/纳米级微型器件,尤其是包含可动结构的微型器件......
非致冷红外探测器/微测辐射热计作为属于第三代的基于微机电系统MEMS技术的红外探测器,由于具有体积小、重量轻、功耗低、易携带、......
本文对印刷技术的发展进行了回顾与展望。从单纯的技术角度，印刷可以定义为是通过选择性添加适当物质的方法将拟表达的信息、内......
随着电子系统对器件高性能、小型化需求的逐步提高,MEMS谐振器凭借其高Q值、易集成、抗冲击等优势被推上舞台。由于MEMS谐振器的制......
微电子机械系统(MEMS)是一项21世纪可以广泛应用的新兴技术。硅微机械加工工艺是近年来随着集成电路工艺发展起来的MEMS主流技术。......
