闪耀角相关论文
在微机电系统技术的基础上, 采用两层多晶硅表面微加工工艺, 研制了一种新型的微型可编程光栅, 利用静电驱动方式实现对光栅闪耀角......
讨论了深蚀刻连续浮雕位相微光学元件的衍射特性．给出了槽形与衍射效率关系的初步研究结果．对实际制作具有指导意义．
The diffractio......
采用两层多晶硅表面微加工工艺,研制开发了一种新型的微型可编程闪耀光栅.该光栅具有结构简单、工作谱段宽、光谱连续可调等特点.......
基于严格耦合波理论,数值计算了一种在闪耀斜面镀膜的亚波长光栅结构,并首次提出将该光栅应用于光导板的设计中,使光导板衍射的RGB......
高衍射效率的凸面闪耀光栅是高光谱分辨率成像光谱仪的核心分光元件,其制作方法包括机械刻划法、电子束直写法、X射线光刻法、全息......
微分法是软Ｘ光波段唯一精确计算衍射光栅效率的电磁理论。应用这种理论成功地设计出带有位相光栅的软互光激光反射输出镜，计算出可能......
本文描述了一种用简单的光路系统实现傅里叶合成而获得闪耀全息光栅的方法.用干涉计量法调整光路,提高了工艺精度.本实验制作的全......
以偏离〈100〉面25.24°的硅〈113〉晶面为基底,采用氧化、光刻等平面工艺,在其上制成光栅常数为36μm的二氧化硅光栅图形作掩模,......
在微机电系统技术的基础上,采用两层多晶硅表面微加工工艺,设计并加工制作了一种闪耀角可调式的微型可编程光栅。介绍了微型可编程......
