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全息离子束刻蚀相关论文
全息离子束摆动刻蚀凸面闪耀光栅制备技术
高衍射效率的凸面闪耀光栅是高光谱分辨率成像光谱仪的核心分光元件,其制作方法包括机械刻划法、电子束直写法、X射线光刻法、全息......
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凸面光栅
全息离子束刻蚀
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