【摘 要】
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提出了一种新型高灵敏度横向电容式硅微加速度计.根据差分电容极板间正对面积的改变来检测加速度大小,保证输出电压与加速度之间的线性度.系统刚度可由静电力调节.为了提高电
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提出了一种新型高灵敏度横向电容式硅微加速度计.根据差分电容极板间正对面积的改变来检测加速度大小,保证输出电压与加速度之间的线性度.系统刚度可由静电力调节.为了提高电学灵敏度,在检测电容极板上设计高K介质层,增大了检测电容量,减小了杂散电容的影响.使用CoventorWare对本设计进行机械分析、力电耦合分析和模态分析,仿真结果与理论计算相吻合.加速度计使用简单的表面牺牲层工艺即可完成,具有很好的发展前景.
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