电容式加速度计相关论文
MEMS加速度传感器是重要的惯性测量器件,在消费电子、汽车、航天航空等各领域都得到了广泛应用,其中MEMS电容加速度计所具有的高精......
MEMS加速度计因其体积小、功耗低及灵敏度高等优点被应用在医疗、电子消费、汽车自动驾驶及航天航空领域。加速度计是由传感器及其......
电容式加速度计广泛应用于国防、航空航天、汽车、通信等军用民用领域,是当前市场的主流和研究的热点。随着应用领域的不断扩大,单......
矢量水听器由于其体积小、质量轻、灵敏度高、工作频带宽、单只“8”字形指向性等诸多优点,在小型声纳、声纳浮标、拖曳阵及解决左......
高Q值MEMS电容式加速度计因具有很小的机械噪声,满足于高精度测量的需要,但欠阻尼的传感器系统动态性能较差,因此需要在闭环检测电......
高g加速度计具有高过载、高响应速度、高环境压力以及体积小和价格低等特点。我们开发的新型电容式加速度计,具有10万g的量程,能够......
设计了一种新型结构的体硅工艺梳齿电容式加速度计，该设计采用2个检测质量块，分别检测水平方向和垂直方向的加速度。x，y水平方向不对......
详细分析了一种电容式加速度传感器的工作原理,设计了基于这种电容式检测原理的加速度传感器.该传感器能将线加速度产生的惯性力转......
基于微机械工艺制作的加速度计,广泛采用差动结构电容变化来反映被测量的方向和大小。近年来针对该需求研制了检测微小电容变化的......
为了减小电容式加速度计的体积，提高检测精度、扩展应用范围，采用厚膜混合集成工艺，将检测电路和电容式加速度计敏感单元集成于一体。......
为提高微电容式加速度计的线性度和工作带宽,在设计微电容式加速度计的检测电路时,要使系统工作在闭环状态下,通过静电力反馈的方......
设计了电容式加速度计的信号检测电路，与电容式加速度计敏感单元进行联调和测试，并进行了标定。为减小体积，提高电容式加速度计的检测......
通过对MEMS电容式加速度计的差分电容检测电路优缺点的比较，结合直流充放电检测方法和交流测量方法的优点，设计了微分检测电路，用方波......
本文主要介绍电容式加速度计采用差动电容检测电路的数学原理,着重阐述微加速度计的电容变化率为微弱输入信号的检测技术实现.并在......
增大传感器振子的质量和静态测试电容可以减小电容式MEMS惯性传感系统的噪声，而深度粒子反应刻蚀工艺由于复杂的工艺原因，当深宽比较......
针对电容式微加速度计中的气膜阻尼问题，基于稀薄气体动力学理论和滑流修正的压膜雷诺方程，分析了敏感质量块在轴向运动中受到的气膜......
提出了一种新型高灵敏度横向电容式硅微加速度计.根据差分电容极板间正对面积的改变来检测加速度大小,保证输出电压与加速度之间的......
介绍了用于中间弹道测试的电容式抗高过载低量程加速度计设计原理、动态标定方法，限位器结构的设计。实验表明，此传感器不仅能承受膛......
介绍了一种电容式抗高过载低量程加速度计差动脉宽调制电路的工作原理以及振荡电路和信号处理电路的设计,经过实验调试,证明此电路......
基于滑流修正的气体压膜雷诺方程,分析了矩形截面电容式微加速度计的敏感质量块在轴向运动中受到的气膜阻尼;指出了质量块受到的气......
论述了闭环控制的原理，即通过静电力反馈来实现平衡控制。并通过计算保证了闭环控制系统的稳定性。可见，闭环工作下的电容式加速度计......
电容式加速度传感器的弹性元件在不同温度条件下存在不同形变,导致传感器的零输入响应产生变化,影响了系统的线性特性。为此,采用A......
目前开关电容式微机械加速度计在国内外具有很高的研究价值,具有众多优点的电容式加速度计在军事和民用领域有很好的应用前景。加......
对比典型的差动电容结构，设计了一种新的折叠梁电容式MEMS低g（g=9．8m／s^2，当地重力加速度）值加速度计，指标为量程0～±2g，横向灵敏度＜3％。......
采用0.5μm CMOS集成电路工艺,设计出一种应用于电容式加速度计中的新型低失调、低功耗放大器。分析了放大器对加速度计系统性能的......
介绍了一种新型基于滑膜阻尼的电容式微机械加速度计。该加速度计根据差分电容极板间正对面积的改变来检测加速度大小,保证了输出......
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近年来,高精度电容式加速度计片上系统(SoC)将微机械传感器与外围电路相集成,进一步压缩体积,节省成本,并具有分辨率高、噪声低、......
残余应力对MEMS器件的力学性能、可靠性和寿命都有较大的影响。基于MEMS电容式加速度计,采用热结构耦合场分析方法,对热应力的影响......
MEMS(Micro-Electro-Mechanical System,微机电系统)加速度传感器是深部油气、金属矿勘探的主体设备和地震数据采集系统的核心器件......
MEMS电容式加速度计具有灵敏度高、噪音低、漂移小、功耗低、结构简单等优点,有着广泛的应用前景。综合比较了电容式加速度计的三......
MEMS加速度计传感器作为现代微型惯性测量设备中的关键器件，以其体积小、重量轻、成本低、功耗低、与集成电路工艺兼容等优势被广泛......
随着硅微加工技术的不断成熟,硅微加速度计已经在传感器市场占据着越来越重要的地位。传感器技术的发展也对其外围检测电路提出了......
介绍了用于差动电容式加速度计的脉宽调制电路原理 ,针对该方案设计信号调理电路 ,并提出了降低杂散信号的规则。实际使用验证该电......
高精度惯性加速度计能够实现实时位移检测,在当今民用和军用系统如汽车电子、工业控制、消费电子、卫星火箭和导弹等中间具有广泛......
MEMS加速度计传感器作为现代微型惯性测量设备中的关键器件,以其体积小、重量轻、成本低、功耗低、与集成电路工艺兼容等优势被广......
运算放大器广泛应用于各种模拟电路、数模混合电路中,而由于各自所用的目标电路不同侧重的指标也有差别。本文基于模拟集成电路基......
高量程、耐冲击的高g值硅微加速度计在导航、国防、冲击测量等领域具有重要的应用背景。与常规的低量程加速度计不同,高g值加速度......
与传统加速度计相比，微机械加速度计具有成本低、体积小、重量轻等优点，因而有着广泛的应用前景。本论文工作是针对一种在大气中具有......
介绍一种电容式加速度计的敏感结构,通过Solidworks三维实体模型软件对其建模,推导敏感结构固有频率、灵敏度计算公式,进行理论计......
