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针对电容式微加速度计中的气膜阻尼问题，基于稀薄气体动力学理论和滑流修正的压膜雷诺方程，分析了敏感质量块在轴向运动中受到的气膜阻尼效应，得到了阻尼力和阻尼系数的简化解析解．研究结果表明，敏感质量块受到的气膜阻尼力不但与尺寸和速度有关，还与固体壁面的材质、表面粗糙度和光洁度等特性有关．通过实例分析给出了三种减小气膜阻尼的方法，指出动量协调系数是影响气膜阻尼（尤其是压膜阻尼）的关键因素之一．