【摘 要】
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新工艺和设备以及原有工艺规程的高可靠性都愈来愈强调采用CVD加工方法;许多市场上可买到的系统的处理能力是非常灵活的。
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新工艺和设备以及原有工艺规程的高可靠性都愈来愈强调采用CVD加工方法;许多市场上可买到的系统的处理能力是非常灵活的。
New processes and equipment, as well as the high reliability of existing process protocols, are increasingly emphasizing the use of CVD processes; the processing power of many commercially available systems is very flexible.
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