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介绍了国产电去离子装置代替混床制备电子工业超纯水的工艺流程、运行参数、经济效益、运行管理经验。长达14个月的连续运行表明,该系统的产水量为32m3/h时,产水水质达到16MΩ.cm以上。该工艺系统运行可靠,产水水质稳定,无污水排放,运行费用明显降低,同时工人的劳动强度和生产环境得到改善。
电去离子替代混床的超纯水制备技术
【摘 要】
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介绍了国产电去离子装置代替混床制备电子工业超纯水的工艺流程、运行参数、经济效益、运行管理经验。长达14个月的连续运行表明,该系统的产水量为32m3/h时,产水水质达到16M
【机 构】
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国家海洋局杭州水处理技术研究开发中心,洛阳麦斯克电子材料有限公司
【出 处】
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水处理技术
【发表日期】
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2006年11期
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