磁控溅射制备Co1-xPtx：C复合纳米颗粒薄膜的研究

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：pw1

【摘要】

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采用组合靶,利用磁控共溅射技术制备了Co1-xPtx:C复合纳米颗粒薄膜,并从实验和理论上对不同Pt浓度CoPt:C薄膜的组分、微结构、磁性能、组分和微结构与磁性能之间的关系以及薄

【作者】

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张效岩覃文

【机构】

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上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米／纳米加工技术国家级重点实验室

【出处】

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微细加工技术

【发表日期】

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2004年4期

【关键词】

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CoPt:C薄膜浓度磁性能磁控溅射 CoPt:C films concentration magnetic properties magnetron

【基金项目】

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上海市科技发展基金

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采用组合靶,利用磁控共溅射技术制备了Co1-xPtx:C复合纳米颗粒薄膜,并从实验和理论上对不同Pt浓度CoPt:C薄膜的组分、微结构、磁性能、组分和微结构与磁性能之间的关系以及薄膜的应用进行了初步研究.发现CoPt粒子取向和磁性能与CoPt:C薄膜中的Pt浓度有密切关系,在较高Pt浓度的CoPt:C薄膜中观察到垂直各向异性现象.通过改变Pt浓度,可以获得粒子粒径小于10 nm、矫顽力可控、垂直磁晶各向异性较高的薄膜.晶格结构和晶粒之间的作用力可认为是影响CoPt:C薄膜磁性能的主要因素.

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