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<正> 一、前言 X射线光电子能谱(XPS)是固体表面成份分析和研究表面电子能态的重要手段。和其他分析方法相比。XPS具有绝对灵敏度高(10~(-18)g),能提供较多的化学键方面的信息(它可以直接测量分子轨道能级和内壳层电子轨道能级)以及高表面灵敏度(信号来自表面几个原子层)等优点。XPS分析技术