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针对等离子旋转电极工艺制备的FGH96合金粉末，采用俄歇电子能谱对合金粉末的颗粒表面进行成分分析，并利用透射电镜对预热处理后粉末中的碳化物演变进行研究。结果表明：FGH96合金粉末的颗粒表面明显存在O、C和Ti元素的偏聚，原始合金粉末的颗粒表面由O和C原子吸附层和富含Ti元素的碳一氧化物层组成；经过预热处理，颗粒中形成于快速凝固过程中的MC’亚稳碳化物转变成稳定的MC碳化物，并析出M23C6碳化物，明显改善了颗粒内碳化物的稳定性和分布状态。