【摘 要】
：
原子层沉积(ALD)技术是一种三维共形沉积金属薄膜或金属纳米结构的有效手段。简要介绍了ALD技术的基本原理和特点,着重阐述和比较了ALD生长贵金属、过渡金属和活泼金属的不同
【机 构】
：
南京大学现代工程与应用科学学院固体微结构物理国家重点实验室,
论文部分内容阅读
原子层沉积(ALD)技术是一种三维共形沉积金属薄膜或金属纳米结构的有效手段。简要介绍了ALD技术的基本原理和特点,着重阐述和比较了ALD生长贵金属、过渡金属和活泼金属的不同工艺条件、化学过程和反应生长机理,如贵金属的燃烧反应与成核孕育期、过渡金属铜互连的前驱体与表面平整性以及活泼金属的能量辅助沉积,探讨了前驱体、成核等对金属沉积和质量的重要影响,说明了原位监控手段在生长中的作用。最后简述了ALD沉积金属面临的瓶颈,由于一些重要金属前驱体的匮乏,新的反应路径和生长机理亟待发现,并展望了其未来发展和应用前景。
其他文献
周恩来总理作为我们国家的一位杰出的领导人,他领导艺术之高超,知识之广博,是世人皆知的.但要说周总理对占卦一类的知识也有涉猎,恐怕知道的人就很少了.一次,笔者和曾在周总
<正>广州现存的清代炮台基本都是修建于晚清的西式炮台,其建设工程是当时广东防卫工程中的头号重点工程,每座炮台造价都是天文数字,仅"台工"就需4000两白银,其中安装的进口大
在回声消除中,针对回声路径具有稀疏性的优势,有学者提出基于μ准则记忆的改进型成比例仿射投影算法（μ-MIPAPA）,但该算法抗脉冲干扰性能较差。为此将稳健估计中的M估计应用于
眼底图像的视网膜血管分割是眼底图像处理的重要组成部分,视网膜血管对于医学研究和临床诊断有着重要的作用。传统图像分割算法都有一定的缺陷,而相位一致性算法由于不受对亮度和对比度的影响,且有着较好的分割效果,可以用于图像特征的提取和分割。为此提出了将相位一致性算法应用于眼底图像的血管提取中,采用真实的眼底图像数据库进行实践,证明了可较好地用于眼底图像视网膜血管分割。
针对当前军事物资装载与运输问题，映射建立数学模型，运用两次禁忌搜索算法自动输出较优的可行运输方案。第一次禁忌搜索用于确定较优的初始解，针对初始解，运用第二次禁忌搜索，保证
工民建施工工程是我国社会经济发展的重要支柱产业。工民建施工涉及众多施工技术与管理措施,如何更好地应用各种技术,如何更加有效地进行施工管理是本文要探讨的关键问题。只