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采用射频宽束离子源进行离子束辅助镀膜可以获得高性能的光学薄膜,已越来越得到人们的共识.本文对射频感应线圈的匹配、起弧及三栅离子光学的关键技术进行了重点考虑，并获得了稳定运行的高性能离子源.
用于薄膜制备的射频宽束离子源的设计
【摘 要】
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采用射频宽束离子源进行离子束辅助镀膜可以获得高性能的光学薄膜,已越来越得到人们的共识.本文对射频感应线圈的匹配、起弧及三栅离子光学的关键技术进行了重点考虑，并获得了
【机 构】
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中国科学院空间科学与应用研究中心
【出 处】
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真空科学与技术学报
【发表日期】
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2004年6期
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