【摘 要】
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介绍了激光状态方程靶中金属薄膜台阶的切割方法.采用皮秒激光加工技术切割了宽度百μm量级的金属薄膜台阶,研究了金属薄膜台阶宽度控制的方法,讨论了切割过程中产生热效应的
【机 构】
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中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
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介绍了激光状态方程靶中金属薄膜台阶的切割方法.采用皮秒激光加工技术切割了宽度百μm量级的金属薄膜台阶,研究了金属薄膜台阶宽度控制的方法,讨论了切割过程中产生热效应的因素,优化了激光加工参数.实验加工中,采用加工的参数：功率为0.5W,脉宽10 ps,波长355 nm,扫描速率为100mm/s,获得了宽度400μm和120μm的金属薄膜.测量结果表明,金属薄膜的宽度能精确控制,切割后金属薄膜表面质量能保持切割前的质量.
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