【摘 要】
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半导体器件中 Au-Al 键合系统失效在国外早就引起重视,许多专家学者在此领域进行了广泛和深入的研究工作。目前在国內尚未看到有关这方面的文献报道,而 Au-Al 系键合失效现象
【机 构】
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半导体器件中 Au-Al 键合系统失效在国外早就引起重视,许多专家学者在此领域进行了广泛和深入的研究工作。目前在国內尚未看到有关这方面的文献报道,而 Au-Al 系键合失效现象却在不断涌现。本文就国外近20多年来对 Au-Al 系统失效机理及影响因素的研究工作进行了介绍和评述。
The failure of the Au-Al bonding system in semiconductor devices has long been taken seriously in foreign countries. Many experts and scholars have conducted extensive and in-depth research in this field. At present, there is no literature report on this aspect in our country, but the bonding failure phenomenon of Au-Al bond is on the rise. In this paper, the research work about the failure mechanism and influencing factors of Au-Al system in foreign countries for nearly 20 years has been introduced and reviewed.
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