【摘 要】
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在铜基体上，用甲醇水溶液等离子体电沉积DLC薄膜．电镀液组成为：醇水比为4：1，添加荆KCl为3gm．A1C13微量．探讨电流密度和两极间距等因素对于电极表面气泡区域厚度、均匀程度、稳定性的
【机 构】
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湘潭大学化工学院,湖南理工学院化工系
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在铜基体上，用甲醇水溶液等离子体电沉积DLC薄膜．电镀液组成为：醇水比为4：1，添加荆KCl为3gm．A1C13微量．探讨电流密度和两极间距等因素对于电极表面气泡区域厚度、均匀程度、稳定性的影响，进而分析其对甲醇水溶液等离子体电沉积DLC薄膜的影响．通过扫描tk~（SEM）观察薄膜表面形貌；通过对X射线衍射（xRD）图谱分析得知薄膜成多晶结构，分别在20=43．9°，50．9°和75．3°处出现了（111）、（200）和（220）晶面的特征峰，晶粒的尺寸约为8～15nm左右；
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