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【摘 要】
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为满足13.5 nm极紫外光刻(EUVL)等领域的应用需求,研制了高重复频率、高稳定性的声光调Q CO2激光器。首先,对声光Q开关的工作原理进行了分析,并实验研究了调制信号电压与衍射
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激光与物质相互作用国家重点实验室,第二炮兵装备研究院,
【出 处】
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红外与激光工程
【发表日期】
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2015年08期
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