【摘 要】
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【摘 要】论文介绍了一种简单、廉价的外延沉积方法，以传统的单晶硅为基底，在三水合金酸氯化金水溶液（HAuCl4·3H2O，0.1mM）中沉积高度结晶的金薄膜。单晶硅已被证明是高度结晶半导体、光学材料和超导体外延生长的理想衬底。电化学沉积的金箔沿着作为阴极的单晶硅衬底的晶向形成。通过石英晶体微天平定量地得到了薄膜厚度随时间的变化规律，薄膜厚度可由施加电压在0.1mM固定浓度下控制。为将金膜转移到硅衬
【机 构】
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江南大学电子工程系物联网技术应用教育部工程研究中心
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论文介绍了一种简单、廉价的外延沉积方法,以传统的单晶硅为基底,在三水合金酸氯化金水溶液(HAuCl_4·3H_2O,0.1mM)中沉积高度结晶的金薄膜。单晶硅已被证明是高度结晶半导体、光学材料和超导体外延生长的理想衬底。电化学沉积的金箔沿着作为阴极的单晶硅衬底的晶向形成。通过石英晶体微天平定量地得到了薄膜厚度随时间的变化规律,薄膜厚度可由施加电压在0.1mM固定浓度下控制。为将金膜转移到硅衬底上,在光照射下通过硅氧化法制备了一层薄氧化物(SiO_x)层。
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