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本文简述了干法刻蚀在微细制版,特别是电子束制版中的重要性,较详尽地介绍了本研究所用的实验装置,刻触原理,工艺参数选择,实验结果及应用情况,并给出了一些典型的图表数据。
微细制版中的干法刻蚀技术研究
【摘 要】
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本文简述了干法刻蚀在微细制版,特别是电子束制版中的重要性,较详尽地介绍了本研究所用的实验装置,刻触原理,工艺参数选择,实验结果及应用情况,并给出了一些典型的图表数据。
【机 构】
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石家庄机电部十三所
【出 处】
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电子工艺技术
【发表日期】
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1991年5期
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