论文部分内容阅读
利用具有特定温度梯度的CVD设备，以锌粉和氧气为原料，在Si（100）衬底上制备了ZnO薄膜。研究发现，锌粉中加入某些氯化物后可以改变ZnO薄膜的生长取向。用FESEM观察ZnO薄膜的表面形貌，发现Zn和氯化物的量比为1：1时，生长的ZnO薄膜表面晶粒呈菱形或三角形（{101}面），当二者的量比为10：1时薄膜表面晶粒呈六棱台形（{001}面）。XRD分析结果证实，前者只观察到（101）和（202）衍射峰，而后者出现（002）衍射峰且其强度大于（101）衍射峰。改变衬底或温度后得到的结果相同。因此，作者认