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深入理解光学检漏:漏率计算及其他
深入理解光学检漏:漏率计算及其他
来源 :电子与封装 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jly1211
【摘 要】
:
光学检漏(OLT)是借助先进的数字电子全息照相干涉测量技术,实现同步完成传统气密封装的细检漏、粗检漏过程的一项新型检漏技术。重点介绍了光学检漏漏率计算公式的推导过程,
【作 者】
:
葛秋玲
肖汉武
【机 构】
:
无锡中微高科电子有限公司
【出 处】
:
电子与封装
【发表日期】
:
2018年07期
【关键词】
:
光学检漏
气密性
漏率计算公式
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光学检漏(OLT)是借助先进的数字电子全息照相干涉测量技术,实现同步完成传统气密封装的细检漏、粗检漏过程的一项新型检漏技术。重点介绍了光学检漏漏率计算公式的推导过程,并对光学检漏测量数据的准确性、光学检漏方法的优缺点等进行了比较和讨论。
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