【摘 要】
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本文用微分方法分析计算TE波入射时金属全息光栅的电磁场,并应用我们发展的计算程序能够得列全息光栅的不同槽深时之衍射效率曲线。结果表明通过测量某一波长TE波45°入射时
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本文用微分方法分析计算TE波入射时金属全息光栅的电磁场,并应用我们发展的计算程序能够得列全息光栅的不同槽深时之衍射效率曲线。结果表明通过测量某一波长TE波45°入射时的全息光栅零级的衍射效率(反射率)可获得其槽深的信息。实验结果与计算值很好相符。本方法对生产全息光栅时控制工艺过程具有非接触与实时测最的优越性。
In this paper, we analyze and calculate the electromagnetic field of the metal holographic gratings by using the differential method and obtain the diffraction efficiency curves of the holographic gratings with different groove depths by using our developed program. The results show that the groove depth information can be obtained by measuring the diffraction efficiency (reflectivity) of zero order holographic gratings when a certain wavelength TE wave is incident on 45 °. The experimental results are in good agreement with the calculated values. The method has the advantages of non-contact and real-time measurement for controlling the process of manufacturing the holographic grating.
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