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低介电损耗微晶氧化铝陶瓷研究
低介电损耗微晶氧化铝陶瓷研究
来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:t6293003
【摘 要】
:
本文将1000 ppm的MgO烧结添加剂以镁盐的形式均匀加入到超细Al2O3粉中,采用两次烧结方法,制备出剩余气孔率接近零,晶粒尺寸在3μm~5μm之间的微晶Al2O3陶瓷。其介电损耗为1×
【作 者】
:
张巨先
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第十二研究所
【出 处】
:
真空科学与技术学报
【发表日期】
:
2006年01期
【关键词】
:
氧化铝陶瓷
低介电损耗
微晶
微波
【基金项目】
:
大功率微波电真空器件技术国家级重点实验室资助项目
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本文将1000 ppm的MgO烧结添加剂以镁盐的形式均匀加入到超细Al2O3粉中,采用两次烧结方法,制备出剩余气孔率接近零,晶粒尺寸在3μm~5μm之间的微晶Al2O3陶瓷。其介电损耗为1×10-5,比等静压95%Al2O3陶瓷的低近两个数量级,降至蓝宝石的水平。
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