【摘 要】
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不断提高芯片集成度减少外围器件是半导体业界追求的目标,但传统晶体振荡器由于采用石英为原料一直无法与硅器件集成在一起,而全硅MEMS时钟的出现或将彻底改变这一局面。
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不断提高芯片集成度减少外围器件是半导体业界追求的目标,但传统晶体振荡器由于采用石英为原料一直无法与硅器件集成在一起,而全硅MEMS时钟的出现或将彻底改变这一局面。
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