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用二甲基异丙基硅烷沉积立方SiC薄膜

来源 :电子材料快报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：foranjay

【作 者】

：

义仡 

【出 处】

：

电子材料快报

【发表日期】

：

1996年1期

【关键词】

：

半导体 SIC薄膜 硅烷 化学相沉积 

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