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用纳米Al2O3制备超高致密度ZAO靶材
用纳米Al2O3制备超高致密度ZAO靶材
来源 :粉末冶金技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:corydalis
【摘 要】
:
将ZAO原料粉体中的Al2O3粒子的粒径降低到纳米级别后,通过无压烧结即可获得超高致密度的ZAO陶瓷靶材(相对密度高于99.0%).致密度大大提高的原因在于,Al2O3粒子粒径降到纳米级
【作 者】
:
范锦鹏
赵大庆
吴敏生
董民超
【机 构】
:
清华大学机械工程系
【出 处】
:
粉末冶金技术
【发表日期】
:
2005年1期
【关键词】
:
纳米级
致密度
无压烧结
粒径
纳米AL2O3
靶材
制备
气孔
粒子
比表面积
ZAO target nanometer ultrahigh relative
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将ZAO原料粉体中的Al2O3粒子的粒径降低到纳米级别后,通过无压烧结即可获得超高致密度的ZAO陶瓷靶材(相对密度高于99.0%).致密度大大提高的原因在于,Al2O3粒子粒径降到纳米级后,比表面积和粒子数目都大大增加,从而实现坯体同步均匀的烧结,避免了大气孔的产生.
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