先进的现场供气设备——TCN640制氮机

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【摘要】

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对安装于深圳赛意法微电子有限公司的TCN640制氮机进行了简介.该设备由Air Liquide Japan Ltd.(日本液空公司)总体设计、制造,国内技术人员消化改进工艺,具有设备配置先进,安

【作者】

：

李华

【机构】

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广州市粤港气体工业有限公司

【出处】

：

低温与特气

【发表日期】

：

2003年3期

【关键词】

：

工艺流程设备特点调试技术改进经济效益 technical processthe specialities of equipmenttestimprove

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对安装于深圳赛意法微电子有限公司的TCN640制氮机进行了简介.该设备由Air Liquide Japan Ltd.(日本液空公司)总体设计、制造,国内技术人员消化改进工艺,具有设备配置先进,安装简单,安全高效,能耗低等优点,其产品氮气的纯度已超过了高纯氮的技术指标.

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