【摘 要】
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本文在部分相干条件下,研究了光学和电子显微镜的直边衍射和象质的评价及定量测试方法。描述了相应的实验装置,物理模型和数值计算结果。这些结果为显微(或微缩)系统的设计评
【机 构】
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上海光学仪器研究所,上海光学仪器研究所
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本文在部分相干条件下,研究了光学和电子显微镜的直边衍射和象质的评价及定量测试方法。描述了相应的实验装置,物理模型和数值计算结果。这些结果为显微(或微缩)系统的设计评价和装校测试提供了新的途径。
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